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为便****点击查看政府采购信息，根据《****点击查看政府采购意向公开工作的通知》（财库〔2020〕10号）等有关规定，现将本单位2025年06月至2025年07月采购意向公开如下：
| 1 | ****点击查看采购离子刻蚀机等设备项目 | 标的名称：半自动显影机 标的数量：1 主要功能或目标：用于显影CGH 需满足的要求：1.可容纳并实现直径300mm圆，厚度可容纳20mm厚的玻璃板的显影 2.CDU≤5% 3.占空比50%±5% 4.转速范围及加速度：0~3000rpm加速度在0.3秒达到3000 rmp 5.显影机加速精度：±1rpm | / | 1,350,000.00 | ****点击查看 | 科研仪器设备 |
| 2 | ****点击查看采购离子刻蚀机等设备项目 | 标的名称：半自动刻蚀机 标的数量：1 主要功能或目标：用于刻蚀CGH金属层 需满足的要求：1.可容纳并实现直径300mm圆，厚度可容纳20mm厚的玻璃板的显影 2.CDU≤5% 3.占空比50%±5% 4.转速范围及加速度：0~3000rpm加速度在0.3秒达到3000 rmp 5.显影机加速精度：±1rpm | / | 1,500,000.00 | ****点击查看 | 科研仪器设备 |
| 3 | ****点击查看采购离子刻蚀机等设备项目 | 标的名称：RIE离子刻蚀机 标的数量：1 主要功能或目标：用于刻蚀CGH石英 需满足的要求：1.反应室容量：可容方形φ400mm，厚度40mm 2.刻蚀速度≥20nm/min； 3.刻蚀均匀性≤±5% 4.侧壁角90°— 85° 5.CDU≤5% 6.占空比50%±5% 7.配套冷水机、尾气处理装置 | / | 4,150,000.00 | ****点击查看 | 科研仪器设备 |
本次公开的****点击查看政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
****点击查看
2025年06月19日
基本情况
上次中标企业: 广州****公司
潜在竞争对手: 共
3
个, 其中与甲方合作关系紧密的
0 家
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