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****点击查看干法刻蚀系统等设备采购项目 | |
项目所在采购意向: | |
采购单位: | ****点击查看 |
采购项目名称: | ****点击查看干法刻蚀系统等设备采购项目 |
预算金额: | 120.000000万元(人民币) |
采购品目: | |
采购需求概况 : | 采购内容:其他仪器仪表 采购数量:1.0000台 主要功能或目标:1、仪器设备为刻蚀系统,****点击查看实验室中的薄膜表面刻蚀和处理任务,支持的表面处理包括各向同性刻蚀和各项异性刻蚀等多种工艺需求,适用于先进电子器件的制备和开发。****点击查看实验室 24 小时不间断运行环境下,保持高稳定性和低故障率,全年理论工作时长超过 1,000 小时;2、预期将3路特殊气体从外部接入超净间的干刻蚀设备,并实现特气无害化处理 需满足的要求:1、通过验收后,提供一年质保。 2、与采购的干刻蚀设备匹配,严格预防气体泄漏风险,满足气体无害化排放,提供质保 |
预计采购时间: | ****点击查看 |
备注: | 无 |
本次公开的****点击查看政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。