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低损伤电感耦合等离子体刻蚀槽像元隔离设备

低损伤电感耦合等离子体刻蚀槽像元隔离设备

预告-招标预告 上海 - 上海 - 虹口区
发布于 2025-07-25

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中国科学院上海技术物理研究所
企业详情 >相似采购商 >
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****点击查看2025年7至12月政府采购意向-低损伤电感耦合等离子体刻蚀槽像元隔离设备 详细情况
低损伤电感耦合等离子体刻蚀槽像元隔离设备
项目所在采购意向： ****点击查看2025年7至12月政府采购意向
采购单位： ****点击查看
采购项目名称： 低损伤电感耦合等离子体刻蚀槽像元隔离设备
预算金额： 371.000000万元(人民币)
采购品目：
A****点击查看1100航天专用工艺设备
采购需求概况 ：
1）刻蚀选择比(光刻胶为掩膜):>20:1; 2）硅材料刻蚀片内均匀性(6英寸硅晶圆去边5mm)：<+5%; 3）侧壁粗糙度：<20nm;
预计采购时间： 2025-08
备注：

本次公开的****点击查看政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

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