采购意向公告

分类

项目内容

采购需求概况

预算金额

（万元）

预计采购时间

备注

工艺设备

多片式外延炉

（1腔/台）

对半导体硅衬底进行硅外延层生长，形成硅外延片

约19224万元

2026年9月-2026年10月

单片式外延炉

（1腔/台）

对半导体硅衬底进行硅外延层生长，形成硅外延片

单片外式延炉

（3腔/台）

对半导体硅衬底进行硅外延层生长，形成硅外延片

全自动bubbler系统

对硅外延层生长所用液态材料进行自动鼓泡形成气态气体，从而为反应腔提供硅外延层生长气体

Local Scrubber外延尾气处理设备

对外延工艺产生的尾气进行自动处理

外延炉foundation

外延设备基础（foundation）施工

片盒清洗机

对晶圆片盒进行清洗

石英件清洗机

对外延炉石英件进行清洗

钟罩清洗机

对外延炉钟罩进行清洗

量测设备/仪器

显微镜

对硅外延片表面形貌及缺陷进行显微观察检测

约2070万元

2026年10月

外延层电阻率纵向分布测试设备（SRP)

对外延层电阻率纵向分布进行测试分析

硅片表面颗粒检测仪

对硅片表面颗粒及缺陷进行检测

厂务设备

氮气纯化器

（600m3/h)

对工艺用氮气进行纯化处理

约2920万元

2026年11月

氢气纯化器

（500m3/h)

对工艺用氢气进行纯化处理

混气柜GMS

（磷烷混氢）

用于磷烷与氢气的混合配比及输送

2026年9月

工程

特气/化学品供应系统

项目工艺用特种气体及化学品供应系统的建设

约3740万元

2026年9月

水气化二次配管道采购及安装

项目工艺设备、量测设备等的水、气、化学品二次配管道采购及安装

一般机电二次配管道采购及安装

项目工艺设备、量测设备等的一般机电二次配管道采购及安装

设备搬运（工艺/量测设备）

项目工艺及量测设备搬运到指定厂房及位置

2026年11月