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历史招中标信息14555条
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| 采购单位: | ****点击查看 |
| 项目名称: | 湿法氧化炉 |
| 预算金额（元）: | 3,890,000.000 |
| 采购品目: | 其他仪器仪表 |
| 采购需求概况: | 拟采购湿法氧化炉一套，配置包括：1、适用晶圆尺寸：2-6英寸；2、工艺温度范围：300-600℃，工艺控温精度：±0.5℃，片内温度精度：＜2℃；升温速度：最高35℃/min；3、设备在465℃稳定后，三个加热器区域的最大温度波动为±0.5℃（由内部TC测量）；4、氧化速率：0.1至1μm/ min；5、氧化均匀度的标准偏差：0.5μm和5mm（边缘排除）；6、工艺过程中实时监控系统能精确控制VCSEL中的氧化孔径直径大小，使用自动软件功能可停止目标孔径处台面氧化，目标孔径：10μm /-0.5μm，演示自动检测目标台面结构；7、红外摄像机分辨率不低于0.1μm、最大放大倍率：20000倍；8、真空系统真空度：<3E-2mbar。 |
| 联系人: | 董颖慧 |
| 联系电话: | 0755-****点击查看6324 |
| 预计采购时间: | 2023-09 |
| 备注: | 无 |
基本情况
上次中标企业: 广州****公司
潜在竞争对手: 共
6
个, 其中与甲方合作关系紧密的
0 家
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