EPI酸排废水回用扩容及浓水回用采购及安装服务项目

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EPI酸排废水扩容及浓水回用项目技术要求

1、项目背景

从节约**、降低成本及减少污染等角度考虑，提高废水回用率势在必行。根据厂区废水的水量、水质特点及目标用途，按照从易到难、阶梯处理、阶梯回用的基本原则进行整体规划，分步实施。本次项目按照基本原则，主要实施的工程内容是EPI废水回用系统扩容及EPI回用系统浓水深度回用，系统产水用于生产，系统浓水排入废水站进行进一步处理。

2、招标范围

工程招标范围：EPI废水回用扩容系统与EPI浓水深度回用系统采购及安装项目，包含预处理系统与反渗透脱盐系统。本项目EPI回用系统扩容规模2000t/d，产水量≥70%（以进水计），EPI回用系统浓水深度处理规模2500t/d，产水量≥50%（以进水计）。中标人须根据本项目供货要求及技术标准完成以上系统设计（包含但不限于技术方案、设备选型、计算书、品牌选取、运行费用、平面布置、流程图、PID等方面）、设备制造、供货、运输、卸货、保险、安装、调试、验收、培训、售后服务、备品备件、专用工具、质量保证期、应急、安全及其它相关服务，并与已建系统做好衔接。

3、交货地点

****点击查看开发区中环领先半****点击查看公司厂区。

4、工期要求：

交货期：自签订合同之日起90天内完成设备的供货及安装。

5、工艺流程（供参考）

EPI废水为外延废气处理排水，系统主要水源包括自来水与厂区回用系统产水，经过多次内循环后排除废气处理系统，其主要污染物为悬浮物、硅及酸碱。回用系统产水回用至外延废气处理系统。

已建EPI回用系统采用酸碱中和+药剂反应+SMF 膜过滤+反渗透主体工艺，建议扩容系统采用相同工艺。EPI浓水深度回用系统建议采用混凝沉淀+SMF膜过滤+反渗透工艺。参考流程详见图5-1 EPI扩容工艺框图及图5-2 EPI浓水深度回用工艺框图。

图5-1 EPI扩容回用工艺框图（供参考）

图5-2 EPI浓水深度回用工艺框图（供参考）

6、项目选址及占地

本项目主要涉及三个区域，均位于废水站。区域1位于废水站水池与建筑之间区域，区域2位于废水站建筑二楼设备区，区域3位于废水站建筑二楼办公区。具体设施及可供使用区位图详图：6-1可供使用区域图

图6-1可供使用区域图-1

1、系统总体要求

1.1技术要求为系统最低或最基本要求，承包商应根据系统设计要求对方案进行调整、优化包括如为满足系统正常运行必须增加设备等。增加或修改的部分应包含在本工程包内，所有的修改和优化必须得到发包方批准。

1.2承包商负责回用水系统的设计、采购、安装和调试，负责施工过程中的材料和设备运输和储存，并提供回用水系统的详细设计使系统到达设计回用水量、回用水质标准。

1.3主要的设备需提供至少一台备用满足系统维护和检修，其中包括并不限于： 水泵，过滤器和其他相关组件。

1.4设计为后期预留的接口和管路应最大可能考虑灵活有效的措施以确保后期连接时不影响已经运行的系统。

1.5管道、水泵、风机和相关组件应严格控制机械噪音和振动，承包商应及时提供系统相关信息如计算书、设备供应商或当地代理商等。

1.6承包商所提供的系统框架设计、处理工艺、设备的型号和数量以及设备应满足设计回用水量及回用水质标准量。

1.7承包商应对设计和施工质量加强控制管理，确保满足项目和工艺要求。

1.8酸、碱、带腐蚀性的化学品加药管道尽量避开人行通道，管材材质选择应该满足使用要求，避免腐蚀泄露的发生。

1.9 MCC和PLC应放置在控制室内，不设就地控制柜体。

1.10钢结构和电气设备等的油漆需满足有关规范和标准的要求。设备及系统颜色须经发包方确定。承包方应提供防腐的完整说明，包括清洗和涂层工艺及所用涂料的特性说明。

1.11所有管道须采用业主规定的标识形式、颜色，且经过发包房认可的管道标识型式：

1.12承包商应负责安装回用水配套系统如电气系统、控制系统、压缩空气、氮气、化学品系统等。

1.13所有需更换和修理的部件均应是市场上常规的并很容易采购的标准部件。

2、系统（用水、用电、用气、排泥、排水、供水、进水）等点位要求

本项目边界对接点位包括动力条件（水、电及压缩空气）、进水点位、供水点位及排污点位（排泥及排水）。发包方提供的动力条件参数如下：

电：三相四线制，380V，50Hz

水：自来水、

气：IA，0.6+/-0.05MPa、干燥、无油

具体动力条件、进水点位、供水点位及排污对接点位对接点现场查看确认。

3、工艺指标要求

本项目扩容系统进水为EPI酸排废水，深度回用系统进水为EPI回用系统浓水。根据产线需求，系统处理规模及产水水质均需满足相应要求。

本项目扩容系统处理规模2000t/d，产水量≥1400t/d，深度回用系统处理规模2500t/d，产水量≥1250t/d。

EPI扩容系统进水水质详见表3-1扩容系统进水水质表，EPI浓水深度回用系统进水水质详见表3-2深度回用系统进水水指标，产水水质详见表3-3产水水质表。

表3-1扩容系统进水水质表

表3-2深度回用系统水质表

表3-3产水水质表

特殊说明：本系统主要处理半导体硅片工艺过程中的EPI含酸废水，项目工况条件特殊，水质管控要求高，系统产出回用水供生产工艺设备及动力系统使用，直接关系厂区日常生产稳定连续运行。因此，投标单位须具备半导体行业纯废水处理成熟项目实施业绩与实操经验，能够充分适配本项目高标准运行管控需求。

4、系统可靠度要求

处理规模及水质：详见3工艺指标要求

扩容系统产水率：≥70%（产水率=系统产水量/系统进水量）

深度回用系统产水率：≥50%（产水率=系统产水量/系统进水量）

产水达标率：≥100%

年运行率：≥97%

系统质保：12个月

5、系统质量规格要求

5.1罐体与槽体

5.1.1按处理规模，中和池、反应池、SFM产水箱及RO产水箱停留时间不得低于15min，SFM膜池与膜型号匹配，停留时间不得低于30min，并预留足够检修空间。药剂存储罐体药剂填充周期不得低于3d，膜清洗罐体根据需求配置。

5.1.2罐体与槽体设计、制造、检验、运输、安装、现场检验需遵循国家相关国家标准，行业标准执行。

5.1.3提供罐体与槽体制造图，相应材质证明资料，厂家资质证明材料，钢制槽体底板厚度不低于10mm，侧壁厚度不低于8mm。

5.1.4容积≥5m3罐体采用FRP材质，容积＜1m3的采用PE材质。槽体采用CS+FRP防腐，防腐厚度及要求满足抗腐蚀性要求。

5.1.5罐体与槽体应在制造现场进行测试和检查，并向发包方提供测试结果的书面文件。

5.1.6在每个罐体与槽体上张贴设备标识标签。标签应载明以下信息：设备名称、设备位号、设备尺寸、设备制造商名称。

5.1.7罐体与槽体应按照制造商的建议安装。不要使用水箱系紧耳作为吊耳，遵循制造商的操作建议。

5.1.8尽量减少进入罐体与桶槽。在其内工作时，应注意成品保护，避免损坏内部表面。

5.1.9罐体与槽体制作安装后应进行满水静压试验，保证无漏点后方可进行防腐施工，防腐层应满足使用要求，并在施工完毕后进行电火花测试。

5.1.10操作平台、爬梯、扶手满足《固定式钢梯及平**全要求》（GB4053-2009）

5.2机电设备

5.2.1化学品卸料泵：化学品充填必须安装充填泵，充填泵的启闭控制箱安装位置应便于操作，并远离危险区域，材质应满足所充填介质的耐腐蚀要求，泵壳应耐化学品房环境腐蚀，单次卸料时间小于3h。

5.2.2调节池提升泵材质CI+F46，规格型号满足系统需求，按1+1（1用1备）方式设置，安装满足相关国家技术规范要求。

5.2.3扩容单元反渗透按1组设计，深度回用单元反渗透系统按2组设计，配套输送泵及高压泵与系统匹配，规格型号满足设计水量及水质要求，低压泵按1+1（2用1备）方式设置，高压泵按1用方式设置，安装满足相关国家技术规范要求。

5.2.4产水提升泵规格型号满足设计水量及水质要求，1+1（1用1备）方式设置，安装满足相关国家技术规范要求。

5.2.5排泥泵规格型号满足设计规模及水质要求，按1+1（1用1备）方式设置，安装满足相关国家技术规范要求。

5.2.6 SMF系统按2组设计，配套抽吸泵与系统匹配，规格型号满足设计水量及水质要求，按1+1（1用1备）方式设置，安装满足相关国家技术规范要求。

5.2.7计量泵：规格型号满足设计水量及水质要求流量机械可调，按1+1（1用1备）方式设置。计量泵应配带安全阀、逆止阀、稳压器、Y 型过滤器、出入口关断阀或多功能阀等。

5.2.8鼓风机： SMF膜池及SMF产水池搅拌风机满足设计规模，且需设置安全系数，按2+1方式（2用1备）设置。鼓风机采用磁悬浮或空气悬浮，承包商应依据具体工艺要求选择合适型号，并做好鼓风机的噪声治理。

5.2.9电机能效：二级能效及以上

5.3管路及管件

5.3.1所有管道的选择必须符合输送介质及系统的需求。加药管、污水管、污泥管、自来水或中水管道等均可采用PVC管道，空气管道采用镀锌管道，压缩空气管材质为SS304管道。垫片采用与废水系统相适宜的防腐垫片。

5.3.2管材及管件应为同一厂家产品，符合设计规范要求，PVC管道粘接剂应由厂家配套供应。

5.3.3压力流管路最大流速 3m/秒；浸没式泵吸口管路：不超过 1.2m/秒；管道流速超过2.0米/秒，管道支架需根据生产厂****点击查看公司的推荐值进行设计。

5.3.4所有到场管材及管件需要接受发包方的检查与验收。管材表面应光滑，管壁厚度均匀。PVC管道无气泡裂纹，色泽一致，直管段挠度不得大于1%，承插口应配套，承插口表面应做到无尘、无油污、无水迹。

5.3.5到场管材及管件需要在堆放区域妥善保护，避免日光及天气的影响造成材料的损坏或污染。

5.3.6管道焊接切口表面应平整无毛刺，焊缝卷边应一致美观，无污物，接口应平整， 清洁。

5.3.7支吊架不应设在管子接口、焊缝处。净距应大于50mm。管道与支吊架间应填充不产尘的柔性材料。管道上的阀门应可靠固定，宜设支架支撑。

5.3.8管道压力试验宜用**，压力为1.5倍管道设计压力，保压 30 分钟不泄漏、无压降为合格。严密性试验是压力试验合格后，将压力降至1.1倍设计压力，保压1小时无泄漏、无压降为合格。

5.3.9位于室外的管路需进行保温，保温设计需按规范要求，保证冬季低温时的正常使用。

5.4系统控制

5.4.1控制功能控制系统采用可编程序控制器(PLC)进行数据采集和系统控制。整套工艺要求在上位机集中监控。控制系统应能对整个工艺系统进行集中监视、管理、自动程序控制。整套系统的步骤都由PLC程序自动进行。整套控制系统分就地与远控。就地控制能实现设备的就地控制及自动控制。上位机能实现设备的全自动控制，同时具备手动、自动、步进等功能。通过上位机可实现对过程控制逻辑量强制，时间常数在线修改及自动报表功能。

5.4.2泵和气动阀门等除了在控制室遥控外，应设有就地控制开关。对于气动阀门应能在就地电磁阀箱上进行控制，而且在手动时还能保持必要的联锁，但远/就地切换应在PLC内实现。

5.4.3水泵的控制应跟水箱液位高、低进行联锁。

5.4.4凡是与酸、碱、腐蚀性溶液接触的测量元件、垫片、阀门、逻辑开关、变送器、就地仪表等设备均应满足相应介质的防腐要求。

5.4.5存放液体的箱、槽、池都应有液位开关或远传连续式液位变送器。水箱的液位信号要求在上位机中显示。

5.4.6系统具备本工程内水量计量统计分析，瞬时和累计水量须在上位机内显示和计量及存储。

5.4.7操作系统可容许操作员进行下列各项但不限于下列各项指令:

u 启停有关的设施、装置

u 调整设定点

u 确认有关监控点的报警状态

u 超级用户可更改各参数的设定值

u 超级用户可执行或停止执行各项电脑程序

u 修正系统的日期、时间

u 加入或更改模拟量输入点的报警上下限数值

u 各类报表的制作和打印

5.4.8可连续查询、储存运行情况的历史数据、报警记录和瞬值（即时取样）等，收集频率都可由操作者设置。数据记录以EXCEL表格的形式存储于硬盘中。报表功能可通过人工和自动地制作成记录表，并可导入EXCEL，然后打印和在显示屏显示出来，并存放在硬盘或磁盘内。系统可以容许操作员查询并打印下列的记录表:

u 系统内的所有监控点状态总表

u 某时间段内各监控点的状态表和趋势图

u 所有正在报警中的监控点

u 某时间段内报警的监控点

u 某时间段内设备启停开关活动表，包括水泵启停、阀门开关、设备状态改变等

u 任一时刻系统的当前操作者

5.4.9报警要求：必须显示有关报警点的详细资料，包括时间、日期、地点、级别、确认情况及确认者等并驱动相应的喇叭提示值班人员；报警要求根据严重程度进行分级，以便快速、有效地处理严重性的报警。报警须在监控电脑上有闪烁提示及声音提示。

5.4.10所有控制仪表及设备应具有最高的可靠性、可用性、稳定性、可操作性。流量计、压力计、液位计采用数字显示方式，其中进水点与供水点必须要有流量计量。显示仪表的刻度单位应符合中华人民**国法定计量单位。

5.4.11对于报警、状态指示、联锁和控制等，其接点应是快动干接点型（无源接点），接点的最小容量应为230VAC、3A或115VDC、0.5A。

5.4.12仪表的工作电源应独立，不应和计算机共用电源，以保证发生故障和检修时电源互不干扰，使各自都能稳定可靠地运行。

5.4.13为使仪表可靠地工作，提高测量精确度，不受外界寄生电势的干扰，传感器应有良好的单独接地线，且接地电阻应小于10Ω。

5.5池体/地面防腐

5.5.1池体防腐：三布五涂，厚度不小于 2.0mm；地坑、地沟及药剂桶槽围堰采用二布四涂，厚度不小于1.0mm；地面采用环氧自流平， 厚度不小于1.0mm。

5.5.2底涂层：在干净的构筑物表面，均匀涂刷一层树脂作为FRP 积层粘接过渡，凝固后施工下一步工序；

5.5.3修补层：对于表层的凹坑，用树脂腻子填充，使其平滑，防止在做 FRP 积层时出现空洞气泡；

5.5.4防腐蚀层：在底涂层上刷“树脂一层+短切毡一层”+涂刷“树脂一层+短切毡一层”+涂刷“树脂一层+铺表面毡一层”，使纤维全部浸透。用压辊排出气泡扎实，固化后抛光。

5.5.5面涂层：防腐蚀层固化后，抛光打磨，做面涂树脂层，第一次涂刷固化后，涂刷第二次树脂+3%的空气硬化剂。然后进行清洁表面，达到使用条件。

5.5.6上述防腐处理方式仅作为承包商施工参考，详细的构筑物防腐材料技术规格及防腐施工工艺的详细方案经发包方认可后方可采用及施作。

6、其它要求

6.1承包商应在开工前将主要人员的简历报发包方，并得到批准，方可开工。

6.2承包商在签订合同后两个星期之内应向发包方提供详细的工作计划，并得到批准。

6.3承包商应按照发包方的要求按时提供工作周报，工作周报应包含工作进度情况、主要设备和材料的采购计划以及施工和调试期间的人力计划和安排

6.4所有的变更、回复、指令都必须在双方书面确定后方案执行。

6.5发包方有权对系统或设备进行修改或删减，由此产生的费用应基于报价清单进行增加或减少，并作为系统最终决算的一部分。

6.6承包商负责回用水安装区域空间管理，并确保其它系统正常运行和安装，同时提交相关图纸报业主并得到批准。

6.7承包商应服从发包方的指令和管理如交叉施工、搬运路径**序以及与其它承包商的协调。

7、工程界面要求

8、品牌要求（主要材料）

备注：上述使用到的材料、设备设施所用品牌招标文件需响应，如更改需至少提前7天通知，并得到甲方书面认同，未通知甲方或甲方不同意更换而发生品牌更换行为，甲方有权认定为技术偏离，评标阶段予以扣分倾斜。

中标人提供的产品应是原装正品，符合国家质量检测标准，具有出厂合格证或国家鉴定合格证。

设备保修期应从填写验收合格书后第2天算起，要求整机一年保修。超出厂家正常保修范围的，中标人需向厂家购买。

质保期内因设备质量或安装调试原因引起的全部维修费用（包括更换零配件的费用）均由中标人承担。

质保期外，中标人应定期回访，发现问题及时通知招标人，且应提供广泛而优惠的技术支持及备件的供应，设备维修零配件须以优惠价给招标人。

质保期：12个月，质保期从验收合格后开始计算, 期限为12个月。质保期内所有软件维护、升级和设备维护等要求免费上门服务。

电话服务响应时间7*24小时，现场服务响应时间12小时。

（1）技术支持

1提供7×24小时的电话技术咨询服务。

2敏感时期、重大节假日提供技术人员值守服务。

（2）故障响应

1提供7×24小时的故障服务电话受理。

2现场服务响应时间12小时。

（3）售后服务人员需至少2名及以上，有相关服务3年以上的经验。有常驻售后服务人员可优先考量，并额外给予相应分值加成。

投标人应负责对甲方指定人员进行免费培训，授之有关该产品的日常使用操作、维护及一般故障排除等必要技能。

安装调试完毕，供货方须立即对采购方免费进行全面培训，直至采购方满意为止（含工作原理、维护保养、一般故障排除、操作规程、熟练使用等）。

设备在招标人指定地点安装、调试完毕后应在现场对维修、技术人员进行免费培训。

包装箱应用新的、坚固的木箱，适合于长途运输和整体吊装，防潮，防锈，防震，防粗暴装卸。中标人负责产品到指定地点的全部运输，包括装卸及现场搬运等。

设备（仪器）到达买方现场后，在接到买方书面通知（传真）后5个日历日内，****点击查看制造厂派遣技术人员到达设备（仪器）安装调试现场负责设备安装和调试工作。

安装指导要求：投标人负责在设备到场后10日内安装调试完毕，使设备达到正常运行，并负责安装调试过程中所有损坏零部件的更换。

设备（仪器）必须具有良好的安全性能并且不污染环境、不危害人身健康。

性能验收试验：有。

在完成以下时，回用水系统移交给招标人：

完成启动、调试和认证

按照附件文件规定提交最终文档，包括最终竣工安装图纸

所有竣工核查事项必须处理完毕

招标人关注的安全事项已处理完毕

投标人完成协议和服务要求的所有义务。

企业要求：提供营业执照，投标供应商注册资金不少于1000万元。

案例要求：投标人需提供的2022年至今已完成的与本次招标设备类似的，在半导体内水处理系统项目业绩（如果业绩为TCL或中环内业绩可予以优先考量，并额外给予相应分值加成），提供合同复印件并加盖公章，合同内容应能体现甲乙双方盖章页、合同签订日期、标的物名称等主要内容，未按上述要求提供的业绩证明均不予认可。

项目名称：EPI酸排废水回用扩容及浓水回用采购及安装服务项目；

报名地址：https://sup.****点击查看.com/supplier/bid/bidShare.html?bidId=ffdae7630a1e496bb0314e89e5c2ab24

联系人：柳先生

邮箱：****点击查看@tcl.com

寻源截止时间：2026年9月17日-2026年9月24日