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| 采购单位: | ****点击查看（**） |
| 项目名称: | 洁净间配套设备 |
| 预算金额（元）: | 5,449,000.000 |
| 采购品目: | 科研用房 |
| 采购需求概况: | 采购半导体加工平台所需的洁净间配套设备，包括：氢气（9N）、氩气（9N）、氨氢混合气纯化器；尾气处理器3台；特殊气体输送管道；尾排和排风管道；给排水管道；大型设备移位和电缆接入；工艺优化临时场地洁净间排风系统、FFU、板材等。供应气体种类：高纯氢气、高纯氮气、高纯氩气、高纯氨氢混合气、普通氮气、硅烷、乙炔、三氯硅烷、HCl、三甲基铝、压缩空气、氧气、BF3、PF3、F2、SF6、CH4、C2H6、氯气、HBr等。支持氢气流速不低于150slm、氩气流速不低于80slm、普通氮气流速不低于50slm、高纯氮气流速不低于20slm、TCS流速不低于20slm。尾气处理系统可处理有机气体、氨气、固体颗粒等。供水管道可供应电阻不低于5MΩ的去离子水，接入设备口流速不低于50L/min。 |
| 联系人: | 简老师 |
| 联系电话: | 137****点击查看7291 |
| 预计采购时间: | 2025-05 |
| 备注: | 无 |
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