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历史招中标信息92759条
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发布时间：2024-09-19 16:06:36
| 刻蚀气体供气及尾气处理装置 | 项目编号****点击查看 | |
| 2024-09-19 16:06:36 | 公告截止日期2024-09-23 12:00:00 | |
| ****点击查看 | 付款方式货到安装、调试、验收合格后，付全款。 | |
| 发布竞价结果后7天内签订合同 | 到货时间要求发布竞价结果后7天内送达 | |
| 币种 | 人民币 | |
| **省**市**区****点击查看 | ||
| 无 | ||
| 刻蚀气体供气及尾气处理装置 | 1.00 | 无 |
| 创世威纳 |
| 无 |
| 1、主要功能 可为反应离子刻蚀机提供安全的工艺气体供气系统以及尾气处理排放。 2、主要技术指标 2.1气瓶柜规格：1200mm *1200mm*450mm 2.2可装载气瓶高度1：≥700mm 2.3可装载气瓶直径1：≥400mm 2.4可装载气瓶高度2：≥1500mm 2.5可装载气瓶直径1：≥400mm 2.6可装载气瓶数量：≥3瓶 2.7气体减压阀气压输入：≥25Mpa 2.8气体减压阀气压输出：≥1Mpa 2.9气体减压阀输入接口：G5/8RF 2.10气体减压阀输出接口：1/4卡套 2.11气体纯度：99.999 2.12尾气处理效率：＞98.5% 2.13适用气体：HCL,NH3,CL2,BCL3,SICL4,SIH 2CL2,SIHCL3,ETC 3、主要配置 3.1特气气瓶柜，3瓶装，1套 3.2普气气瓶柜，3瓶装，1套 3.3普气减压表：3套 3.4特气减压表：3套 3.5 SF6、CHF3、CF4气体，各1瓶 3.6 O2、Ar、N2气体，各1瓶 3.7尾气处理系统，1套 3.8上述气体管路以及附属配套的安装。 |
| 按行业标准提供服务，质保期12个月。 |
基本情况
上次中标企业: 陕西****公司
潜在竞争对手: 共
32
个, 其中与甲方合作关系紧密的
0 家
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