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| 电热燃烧+水淋尾气处理装置 | 1.0/台 | 茂竺 | MS-HS0086 | 1*.能处理SiH4,NH3,N2O,SF6,H2,Ar,O2等PECVD机台排出的尾气等，处理效率达到98%以上。 2*.电热+水淋式处理方式，半自动控。带循环水系统，循环水配备**量显示仪表，耐腐蚀水泵，具有SEMI S2安全认证。 3*.废气的进出口必须有负压表及负压监控报警表。循环水流量报警。配备氮气及压缩空气流量计，循环水流量报警仪表单独设立，流量报警值可以设定。具有温度偏差报警，进出口负压报警功能。维护及维修方便。 4，设备总处理量不低于500升每分钟。 5，加热温控精度：正负1摄氏度 6，入口KF40，出口DN100。 7，溶液PH计在线监测和实时显示。 8，预留箱体排风单独接口及风阀调节功能。排风保证散热及循环排风。 | 按行业标准提供服务 |
基本情况
上次中标企业: 南京****公司
潜在竞争对手: 共
9
个, 其中与甲方合作关系紧密的
0 家
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